一、氣動(dòng)三聯(lián)件概述

氣動(dòng)三聯(lián)件，作為超高純電子特氣系統(tǒng)中的關(guān)鍵裝置，由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大核心元件組成。采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，具備耐腐蝕、結(jié)構(gòu)精巧、工藝精良等顯著特點(diǎn)。在超高純電子特氣系統(tǒng)中，氣動(dòng)三聯(lián)件發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，對氣源進(jìn)行過濾、減壓和潤滑處理，確保系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行和高效性能。

1. 空氣過濾器

空氣過濾器負(fù)責(zé)凈化氣源，有效過濾壓縮空氣中的水分、油霧和固體雜質(zhì)，為系統(tǒng)提供純凈的氣源。

2. 減壓閥

減壓閥對氣源進(jìn)行穩(wěn)壓處理，確保氣壓恒定，保護(hù)氣動(dòng)系統(tǒng)中的閥門和執(zhí)行器免受氣壓波動(dòng)的影響。

3. 油霧器

油霧器負(fù)責(zé)潤滑機(jī)體運(yùn)動(dòng)部件，減少摩擦和磨損，延長設(shè)備使用壽命，同時(shí)提高系統(tǒng)的運(yùn)行效率。

二、氣動(dòng)三聯(lián)件安裝方法

1. 安裝前準(zhǔn)備

部件檢查：確保購買的氣動(dòng)三聯(lián)件所有部件齊全且完好無損，避免安裝過程中因部件缺失或損壞而影響使用。

接口確認(rèn)：確認(rèn)三聯(lián)件的進(jìn)氣口與出氣口與接管接頭的牙型是否匹配，確保連接緊密，避免氣體泄漏。

管道清洗：清洗連接管道及接頭，去除油污和雜質(zhì)，防止臟物帶入氣路，影響三聯(lián)件的過濾和潤滑效果。

油霧器準(zhǔn)備：如需使用油霧器，請預(yù)先準(zhǔn)備JIS K2213輸機(jī)油或ISOVg32潤滑油或同級用油，確保油霧器正常工作。

2. 安裝順序

在安裝氣動(dòng)三聯(lián)件時(shí)，必須遵循特定的順序：氣路自空氣過濾器進(jìn)入，經(jīng)過減壓閥后，自油霧器出，油霧器的出氣口與下游設(shè)備相接。這一順序確保了氣體的過濾、減壓和潤滑過程，保證了設(shè)備的順暢運(yùn)行。

3. 固定與調(diào)試

固定安裝：使用固定支架將三聯(lián)件固定在合適的位置，確保固定支架的凸槽與本體上凹槽匹配，再用固定片及螺絲鎖緊。穩(wěn)固的安裝可以防止三聯(lián)件在運(yùn)行過程中的振動(dòng)和位移。

減壓閥調(diào)整：在調(diào)整減壓閥的工作壓力時(shí)，應(yīng)先將油霧器拆下，避免對其造成意外損害。調(diào)整時(shí)，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)減壓閥的旋鈕增加進(jìn)氣流量(提高出口壓力)，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)則減少進(jìn)氣流量(降低出口壓力)。調(diào)整完成后，重新安裝油霧器，并進(jìn)行壓力測試，確保壓力穩(wěn)定。

密封性檢查：確保每個(gè)連接口的密封性良好，使用密封墊圈或涂抹密封劑來防止氣體泄漏。良好的密封性是確保三聯(lián)件正常運(yùn)行和氣壓穩(wěn)定的關(guān)鍵。

4. 使用與維護(hù)

定期檢查：定期檢查氣動(dòng)三聯(lián)件的工作狀況，及時(shí)替換濾芯等易損部件，確保三聯(lián)件的過濾和潤滑效果。

充分潤滑：確保對油霧器進(jìn)行充分的潤滑，以延長設(shè)備的使用壽命和提高運(yùn)行效率。

5. 注意事項(xiàng)

使用壓力：請勿超過三聯(lián)件的使用壓力范圍，以避免因超壓而引起的設(shè)備損壞或安全事故。

濾芯更換：當(dāng)出口風(fēng)量明顯減少時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換濾芯，以保證三聯(lián)件的過濾效果。

通過以上詳細(xì)的安裝指南，您可以更好地了解氣動(dòng)三聯(lián)件在超高純電子特氣系統(tǒng)中的重要作用，并掌握正確的安裝方法。正確的安裝和維護(hù)將確保三聯(lián)件的穩(wěn)定運(yùn)行和高效性能，為您的超高純電子特氣系統(tǒng)提供可靠的氣源處理解決方案。