隨著半導(dǎo)體產(chǎn)能的提升，工藝氣體的供應(yīng)量也隨之增大，大流量過(guò)濾器成為生產(chǎn)線的關(guān)鍵設(shè)備。深圳恒歌 BF 系列大流量過(guò)濾器，專為滿足大流量需求設(shè)計(jì)，是大流量過(guò)濾器中的高效解決方案。?

其創(chuàng)新的多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)，大幅增加了有效過(guò)濾面積，使得氣體在高流量狀態(tài)下仍能平穩(wěn)通過(guò)，阻力損失遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)過(guò)濾器，降低了氣體輸送系統(tǒng)的能耗。在保證大流量的同時(shí)，0.003μm 的過(guò)濾精度絲毫未打折扣，確保高流量下的氣體純度。全 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，能承受大流量帶來(lái)的系統(tǒng)壓力，長(zhǎng)期運(yùn)行不易變形。整體設(shè)計(jì)便于安裝與維護(hù)，適配大產(chǎn)能生產(chǎn)線的連續(xù)運(yùn)行需求，有特殊需求可定制加工，滿足不同流量規(guī)模的生產(chǎn)要求。?

產(chǎn)品特點(diǎn)：?

●?大流量設(shè)計(jì)，適配高產(chǎn)能生產(chǎn)?

●?低阻損特性，降低系統(tǒng)能耗?

●?高流量下仍保持超高過(guò)濾精度?

●?高強(qiáng)度結(jié)構(gòu)，耐受系統(tǒng)壓力?

●?易于安裝維護(hù)，適合連續(xù)運(yùn)行?

●?支持定制加工，滿足特殊需求?